什么是单值-移动极差控制图

关键词：单值-移动极差控制图,SPC

盈飞无限——单值移动极差控制图

单值，故名思议，只有一个值，样本为一的生产过程，我们通常采用的SPC控制图是单值-移动极差控制图。

在实际生产中，由于各种原因，有时每批样本汇总只包含一个数据，即n=1。例如，采集和测试工艺参数的成本很高，从经济角度考虑，检测工艺参数时只测量一个数据；有些工艺中，由于工艺本身的特点，例如半导体生产中的外延工序，采用层错缺陷腐蚀方法测试外延层厚度时，每个大圆片上只可能测试到一个数据，使得每个大圆片上只可能测试一个电阻率数值；有些生产过程，质量比较均匀，例如表征液体浓度值的参数，每次检验无需抽取多个样本；对于自动加工和检测的生产工艺，如果对每个测量值都要进行SPC分析，也是一种每批只有一个数据的情况。

在这种每批样本中只包含一个数据，即n=1的情况下，可以采用单值-移动极差控制图分析工艺过程的统计受控状态。

将每批的一个数据值直接标示在控制图上就是单值控制图。单值控制图与通常的均值控制图对应，用于判断工艺参数中心值的变化情况是否处于统计受控状态。

移动极差指相邻两批数据之差的绝对值。将移动极差值标示在SPC控制图上就是单值-移动极差控制图。移动极差控制图与通常的极差控制图相对应，用于判断工艺参数分散性的变化情况是否处于统计受控状态。

在每批只有一个数据的情况下，同时使用单值控制图和移动极差控制图就可以同时检测工艺参数中心值和分散性的起伏变化是否处于统计受控状态。